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大族激光近期在接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)表示，目前，公司光刻機(jī)項(xiàng)目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機(jī)已投入市場(chǎng)，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動(dòng)用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場(chǎng)需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計(jì)劃，并加大研發(fā)核心部件國(guó)產(chǎn)化。公司激光設(shè)備在薄膜電池領(lǐng)域國(guó)內(nèi)市占率一直位于市場(chǎng)前列，在鈣鈦礦電池行業(yè)幾家龍頭、前沿研究機(jī)構(gòu)均取得激光設(shè)備的交付銷售，及大尺寸激光加工設(shè)備的整線交付。公司在TOPCON領(lǐng)域產(chǎn)品布局完整，逐步具備TOPCON電池全產(chǎn)業(yè)鏈設(shè)備研發(fā)制造能力；在HJT電池已布局PECVD、PVD等設(shè)備產(chǎn)品。公司現(xiàn)有研發(fā)項(xiàng)目包括低壓硼擴(kuò)散爐、Topcon激光摻硼設(shè)備、LPCVD設(shè)備等，低壓硼擴(kuò)散爐、Topcon激光摻硼設(shè)備處于客戶驗(yàn)證階段。

（文章來源：界面新聞）

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