微資訊!和遠(yuǎn)氣體:宜昌電子特氣產(chǎn)業(yè)園擬新增電子級(jí)硅烷項(xiàng)目
2023-03-08 18:33:32    證券時(shí)報(bào)·e公司


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和遠(yuǎn)氣體(002971)3月8日晚間公告,公司的宜昌電子特氣及功能性材料產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目擬新增電子級(jí)硅烷項(xiàng)目。新增的電子級(jí)硅烷項(xiàng)目總體規(guī)劃產(chǎn)能為5000噸/年,投資總預(yù)算4883萬元。此次新增的電子級(jí)硅烷項(xiàng)目所研發(fā)和生產(chǎn)的電子級(jí)硅烷產(chǎn)品屬于半導(dǎo)體、光伏領(lǐng)域氮化硅薄膜沉積工序關(guān)鍵材料。

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